《半导体厂务项目工程管理》旨在系统介绍半导体厂务项目工程管理的理论与实践，为集成电路生产领域的从业者、高校相关专业师生提供一套全面、实用的知识体系，并能深入理解半导体厂务项目工程管理的核心要素，掌握关键系统的设计、运行与维护技能，为半导体制造工厂的高效、稳定运行贡献力量。
　　全书共7 个单元，具体内容为半导体厂务项目工程管理概述、高低压电力系统和FMCS 的设计与运行维护、动力系统的设计与运行维护、排气系统的设计与运行维护、洁净室系统的设计与运行维护、气化系统的设计与运行维护、纯废水系统的设计与运行维护。
　　　　本书注重理论与实践相结合，既涵盖了半导体厂务项目工程管理的理论知识，又提供了丰富的实际案例和操作指南，可作为集成电路生产领域的厂务工程师、运维工程师的学习参考用书，也可作为高职高专和应用型本科相关专业参考教材。

目录
前言
第1单元半导体厂务项目工程管理概述
项目1半导体厂务项目工程管理介绍
任务1.1半导体厂务系统概述
习题
第2单元高低压电力系统和FMCS的设计与运行维护
项目2高低压电力系统的组成
任务2.1高压开关柜
任务2.2紧急供电的作用与选择
任务2.3电力设备的维护
任务2.4厂务接地系统
项目3FMCS
任务3.1FMCS网络架构
任务3.2FMCS仪器选型
任务3.3FMCS子系统逻辑控制
习题
第3单元动力系统的设计与运行维护
项目4动力系统
任务4.1PCW系统
任务4.2工艺真空系统
任务4.3清扫真空系统
任务4.4冷热源系统
习题
第4单元排气系统的设计与运行维护
项目5排气系统
任务5.1一般废气处理系统
任务5.2有机废气处理系统
任务5.3酸碱性废气处理系统
任务5.4毒性废气处理系统
习题
第5单元洁净室系统的设计与运行维护
项目6洁净室系统
任务6.1洁净室系统介绍
任务6.2净化风系统
任务6.3洁净室环境检测
习题
第6单元气化系统的设计与运行维护
项目7气体系统
任务7.1大宗气体
任务7.2特种气体
任务7.3气柜操作及故障排查
任务7.4GMS
任务7.5气体系统应急处理流程
任务7.6气体个人防护装备
项目8化学品系统
任务8.1化学品种类
任务8.2化学品供应方式
任务8.3化学品应急处理流程
任务8.4化学品系统材质的选用
任务8.5化学品设备操作及故障排查
任务8.6化学品个人防护装备
习题
第7单元纯废水系统的设计与运行维护
项目9纯水系统
任务9.1纯水系统的介绍
任务9.2超纯水系统的运行维护
项目10废水系统
任务10.1废水的种类
任务10.2废水处理系统
习题

前言
在当今快速发展的半导体行业中，厂务项目工程管理作为确保半导体生产设施高效、稳定运行的关键环节，其重要性日益凸显，不仅关乎产品质量、成本控制，更直接影响到企业的竞争力和可持续发展能力。
本书旨在系统介绍半导体厂务项目工程管理的理论与实践，为集成电路生产领域的从业者、高校相关专业师生提供一套全面、实用的知识体系。希望通过本书的学习，读者将能够深入理解半导体厂务项目工程管理的核心要素，掌握关键系统的设计、运行与维护技能，为半导体制造工厂的高效、稳定运行贡献力量。
全书内容结构严谨，逻辑清晰，共7个单元、10个项目。每一单元都紧扣半导体厂务项目工程管理的实际需求。
第1单元：半导体厂务项目工程管理概述。本单元共1个项目，介绍了半导体产业的基本概况、发展趋势以及厂务项目工程管理的重要性，为读者构建一个宏观的认知框架；之后又对半导体厂务系统以及强弱电、监控、暖通系统、气体化学品系统、水务系统等进行了简要介绍，为后续单元的学习奠定基础。
第2单元：高低压电力系统和FMCS的设计与运行维护。本单元共两个项目，即高低压电力系统的组成和FMCS。本单元深入介绍了高低压电力系统中的核心环节高压开关、紧急供电的选择、电力设备的维护和厂务接地系统；FMCS的网络架构、仪器选型和逻辑控制。
第3单元：动力系统的设计与运行维护。本单元共1个项目，即为半导体生产设备提供动力支持的动力系统，本单元详细介绍了动力系统中的工艺冷却水（PCW）系统、工艺真空系统、清扫真空系统和冷热源系统。
第4单元：排气系统的设计与运行维护。本单元共1个项目，即对于半导体生产环境有着重要影响的排气系统。本单元讲解了不同类型废气的处理系统，包括一般废气、有机废气、酸碱性废气和毒性废气。
第5单元：洁净室系统的设计与运行维护。本单元共1个项目，洁净室是半导体生产的核心区域。本单元详细介绍了洁净室系统、净化风系统和洁净室测试系统，确保洁净室环境的稳定达标。
第6单元：气化系统的设计与运行维护。本单元共两个项目，分别是半导体生产提供所需气体和化学品的系统。本单元详细阐述了气体系统的气体分类、气柜操作及故障排查、GMS（气体监控系统）、气体系统应急处理流程和气体个人防护装备，化学品系统的化学品分类、化学品供应方式、化学品应急处理流程、化学品设备操作及故障排查、化学品个人防护装备，确保气体和化学品供应的安全、稳定。
第7单元：纯废水系统的设计与运行维护。本单元共两个项目，即纯水系统和废水系统。纯废水系统对于半导体生产的资源循环利用和环境保护具有重要意义。本单元详细介绍了纯水系统和超纯水系统的运行维护，废水的种类和废水处理系统，从而实现高效、环保的纯废水管理体系，提供坚实的水资源保障。
本书注重理论与实践相结合，既涵盖了半导体厂务项目工程管理的理论知识，又提供了丰富的实际案例和操作指南，旨在帮助读者将所学知识应用于实际工作中，提升半导体厂务项目工程管理的水平和效率。
本书力求通过每一个集理论性和实践性于一体的项目，引领读者了解半导体厂务。从半导体厂务概述到暖通、电力、水处理、气化四大主要厂务管理系统，逐步掌握厂务管理和运行维护的技能。
本书不但可作为集成电路生产领域的厂务工程师、运维工程师的学习参考用书，也可作为高职高专和应用型本科相关专业参考教材。
在本书编写过程中，沈晓宇、王栋、戴丽华任主编，卢德榕、刘阳、袁宇丹任副主编，程磊、程雪敏、孙岚、王昕昀也参与了部分内容的编写工作。
由于编者水平有限，对于书中疏漏和不足之处，敬请广大读者批评指正。
编者
2025年6月