本书通过电子科技博物馆的藏品，从集成电路的基本概念出发，逐步深入，系统地介绍了集成电路的生产工艺和功能，以通俗易懂的语言，结合电子科技博物馆的馆藏，让读者轻松掌握集成电路的基本知识。

绪论
01 晶圆制造
02 光刻
03 薄膜沉积
04 刻蚀
05 封装测试
06 集成电路成品

电子科学技术起源于19 世纪，是现代信息科学技 术发展的重要基石。其发 展历史犹如一幅波澜壮阔 的画卷，闪现着人类智慧 的璀璨光芒。 在人类历史发展的长河 中，电子工业的兴起无疑 是最为耀眼的一章。它彻 底重塑了人类生活，驱动 着科技进步、产业革命， 并推动全球化进程。通信 技术的革新，使得信息传 递不再受地域的束缚，人 们能够跨越千山万水，实 现即时沟通；雷达技术的 突破，赋予了人类洞察万 里长空、探索未知海域的 能力；广播电视的普及， 将世界各地的文化与娱乐 节目送至千家万户，丰富 了人们的精神生活；电子 测量仪器的精确与高效， 为科学研究与工业生产提 供了强有力的支撑；电子 元器件与集成电路的飞速 发展，以及电子计算机的 普及更是极大地推动了科 技进步，引领了第四次工 业革命的到来。电子工业 的兴起，彻底改变了人类 的生活，也对全球的经济 和文化发展产生了深远影 响。它在促进世界全球化 发展的同时，也给人类带 来了新的机遇和挑战。 电子科技博物馆，作为 我国第一座综合性电子类 博物馆，于2016年9月正 式开馆，截至2024年4月 ，共收藏15153件藏品。 这些藏品基本涵盖了整个 电子工业范畴，串联起了 电子科技发展的脉络。从 古老的电报机到现代的智 能手机，从简单的电子管 到复杂的芯片，每一件藏 品背后都是一段令人瞩目 的历史记忆。 本书通过电子科技博物 馆的藏品，从集成电路的 基本概念出发，逐步深入 ，系统地介绍了集成电路 的生产工艺和功能，以通 俗易懂的语言，结合电子 科技博物馆的馆藏，让读 者轻松掌握集成电路的基 本知识。自1958年第一块 集成电路问世以来，以半 导体材料为基础的集成电 路芯片技术取得了巨大的 发展，以集成电路为基础 的信息产业已成为全球第 一大产业。集成电路作为 现代电子技术的核心，已 经应用到我们生活中的方 方面面，然而，对于大多 数人来说，集成电路仍然 神秘而陌生。为了揭开这 层神秘的面纱，让读者更 全面地认识和了解集成电 路的生产工艺和功能，我 们精心编写了这本书。 集成电路（integrated circuit，IC）是指采用一定 的工艺，把一个电路中所 需的晶体管、二极管、电 阻、电容和电感等元器件 及布线互连在一起，封装 在一小块或几小块半导体 晶片或介质基片上，并最 终实现所需功能的微型电 路结构。集成电路是现代 电子技术中的重要组成部 分，被广泛应用于各种电 子设备和系统中，包括计 算机、通信设备、消费电 子产品、医疗设备、工业 控制系统等。随着技术的 不断进步，集成电路的集 成度和性能还将继续提高 ，并为人类社会带来更大 的便利和更多的可能性。 编者历经一年的设计、 挑选、拍摄，最终将81件 电子管及相关藏品列入本 书。其中包括26种集成电 路材料，18件集成电路生 产设备和37件集成电路芯 片，旨在让读者更清晰地 了解集成电路的生产工艺 和功能，激发读者对电子 技术的兴趣和热情，从而 为推动科技创新和社会发 展贡献自己的力量。 最后，我们感谢电子科 技大学集成电路科学与工 程学院（示范性微电子学 院）在本书编写过程中提 供的鼎力支持。本书中提 及的大部分有关集成电路 的工艺设备皆由该学院提 供。